HIWIN Robot Multi Axis Wafer RWS
แขนหุ่นยนต์ RW รองรับฟังก์ชั่นการวาง, การหยิบ, การหนีบ เซ็นเซอร์เป็นอุปกรณ์สามารถตรวจจับได้ว่าแผ่นเวเฟอร์มีแผ่นลามิเนตหรือชิ้นส่วนที่เอียงก่อนที่จะมีการฟิล์ม
หุ่นยนต์ไฮวิน Wafer Robot RWS
Feature | Hiwin Wafer Robot RWS
- The advantage is on vertical integration of bothhardware and software, also using high precisionand stiffness DD motor, the repeatability can reach±0.02mm. Small circling radial and high utilizationof space.
- Applications include: Pick –and –place equipment inSemiconductor industry (pick-and place of wafer), Optoelectronics(mini panel, mini solar panel) andLED industry (sapphire substrate, rubber ring).
- Various options for end effectors such as vacuumtype, gripping type and flipping type. Able to providetotal solution to adapt to all kinds of customerapplications.
Specifications | Hiwin Wafer Robot RWS
MODEL | RWS | |
---|---|---|
135 / 185 mm | ||
ภาระโหลด | 0.5 kg | |
R/W แกน | ความเร็ว | 750 mm/sec |
T แกน | ช่วงการหมุน | 0 ~ 340 deg |
ความเร็วเชิงมุม | 250 deg/sec | |
Z แกน | ระยะแกน | 340/400/500 mm |
ความเร็ว | 250 mm/sec | |
วิธีการล็อค | แก้ไขฐานล่าง / บนสุด | |
น้ำหนักหุ่นยนต์ | 45 - 55 kg ไม่วม ตู้คอนโทรล | |
ความสะอาด | Class 100 | |
ความละเอียด | ±0.02 mm | |
ช่องทางการสื่อสาร | RS232 / Ethernet | |
I/O | 14 IN / 9 OUT | |
ความยาวลำตัว | 5 m | |
แรงดันไฟฟ้า | 200-240 V (AC) 1 เฟส | |
กระแสไฟฟ้า | 5 A | |
แรงดันดูด | φ6 : -40 ~ -60 kPa |
Model Table
RW | - | S | - | T | Z400 | R135 | - | Cta | - | F | - | M | - | T |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
หุ่นยนต์เวเฟอร์ | - | ประเภทแขน | - | ประเภทคงที่ | Z แกนขึ้นลง | แขนยาว | - | ชนิด | - | F | - | M | - | T |
RW | - |
S: แขนหนึ่งข้าง |
- | อยู่ระหว่าง การทำข้อมูล |
Z340 *กำนดเองได้ |
R135 *กำหนดเองได้ |
- | Ata: ดูดแวคคั่ม Cta: แคลมป์ Rta: งานพลิก |
- | F: งา | - | M: เซ็นเซอร์การ์ด None: ไม่มี |
- | T: สอนทีช None: ไม่มี |
FORK (ความต้องการของลูกค้าสามารถเลือกตามตารางที่เหมาะสมกับงานที่จะใช้)
รหัส | ขนาดเวเฟอร์ | การใช้งาน | D1 | D2 | D3 | D4 | D5 | D6 | D7 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
F01 | 2"~4" | ดูดด้วยแวคคั่ม | 220 | 25 | 25 | M3 | 35 | 25 | 30 |
F02 | 8"~12" | ดูดด้วยแวคคั่ม | 250 | 40 | 35 | M3 | 60 | 100 | 140 |
F03 | 2"~8" | ดูดด้วยแวคคั่ม | 199 | 25 | 25 | M3 | 35 | N/A | 23 |
F04 | 2"~6" | ดูดด้วยแวคคั่ม | 186 | 25 | 25 | M3 | 35 | N/A | 20 |
F05 | 7" | หนีบ | 155 | 35 | 35 | M3 | 50 | 60 | 144 |
F07 | 8" | หนีบ | 168 | 35 | 50 | M3 | 105 | 65 | 105 |
F08 | 6". 8" | ดูดด้วยแวคคั่ม | 195 | 25 | 25 | M3 | 35 | 55 | 85 |
F09 | 8" | ดูดด้วยแวคคั่ม | 195 | 25 | 25 | M3 | 35 | 110 | 150 |
รีโมททีชชิ่ง
- มีขนาดเล็กพกพา และใช้งานง่ายผู้ใช้สามารถหาข้อมูลเพิ่มเติมหรือทดสอบของหุ่นยนต์ของเว็บไซต์
- กดปุ่มฟังก์ชั่นแบบกราฟิกเพื่อให้ใช่งานง่าย
- สวิตช์ความปลอดภัยเพื่อป้องกันไม่ให้ผู้ขยับหุ่นยนต์โดยไม่ได้ตั้งใจ
กรีปเปอร์ไฟฟ้า
- ดูดด้วยแวคคั่ม ที่แผ่นเวเฟอร์, ประเภทแคลมป์ ที่ขอบเวเฟอร์และพื้นผิว
- ประเภทพลิก : แผ่นเวเฟอร์และวัสดุจะถูกด้วยแวคคั่มแล้วแผ่นเวเฟอร์สามารถพลิกด้านหน้าหรือด้านหลังตามความต้องการของผู้ใช้งาน